控制產(chǎn)品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。此空間的設(shè)計(jì)施工過(guò)程即可稱為凈化工程。
凈化工程通俗稱為無(wú)塵車間、凈化車間、潔凈室等名稱;其主要原理是將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)、照明、靜電控制在所需求范圍內(nèi)。主要是對(duì)潔凈度、溫度、濕度的精確控制,提升作業(yè)環(huán)境,提高產(chǎn)品優(yōu)良率。
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